Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://dspace.bstu.ru/jspui/handle/123456789/1108| Название: | Влияния условий осаждения высококачественных АLN и SIС на характеристики покрытий |
| Авторы: | Нарцев, В. М. Агеева, М. С. Прохоренков, Д. С. Зайцев, С. В. Карацупа, С. В. Ващилин, В. С. |
| Ключевые слова: | Авторы БГТУ микроэлектроника ЦВТ БГТУ им. В.Г. Шухова тонкие пленки АlN и SiС сканирующий электронный микроскоп рентгеновский дифрактометр магнетронные распылительные установки |
| Дата публикации: | 2013 |
| Издательство: | Издательство БГТУ им. В. Г. Шухова |
| Краткий осмотр (реферат): | В работе на базе оборудования Центра высоких технологий (ЦВТ) БГТУ им. В.Г. Шухова были проведены первичные исследования влияния условий осаждения из магнетронной плазмы покрытий на их основные характеристики. Установлено, что увеличение доли О2 ведет к уменьшению скорости осаждения. Шероховатость покрытий закономерно увеличивается при снижении общего давления из-за более интенсивной кристаллизации и удаления подложки от мишени из-за формирования островковой структуры. |
| Описание: | Влияния условий осаждения высококачественных АLN и SIС на характеристики покрытий / В. М. Нарцев [и др.] // Вестник БГТУ им. В. Г. Шухова. - 2013. - № 6. - С. 168-172. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://dspace.bstu.ru/jspui/handle/123456789/1108 |
| Располагается в коллекциях: | 2013 год |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 39. Нарцев.pdf | 576.46 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.