BSTU DSpace logo

Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.bstu.ru/jspui/handle/123456789/1108
Title: Влияния условий осаждения высококачественных АLN и SIС на характеристики покрытий
Authors: Нарцев, В. М.
Агеева, М. С.
Прохоренков, Д. С.
Зайцев, С. В.
Карацупа, С. В.
Ващилин, В. С.
Keywords: Авторы БГТУ
микроэлектроника
ЦВТ БГТУ им. В.Г. Шухова
тонкие пленки АlN и SiС
сканирующий электронный микроскоп
рентгеновский дифрактометр
магнетронные распылительные установки
Issue Date: 2013
Publisher: Издательство БГТУ им. В. Г. Шухова
Abstract: В работе на базе оборудования Центра высоких технологий (ЦВТ) БГТУ им. В.Г. Шухова были проведены первичные исследования влияния условий осаждения из магнетронной плазмы покрытий на их основные характеристики. Установлено, что увеличение доли О2 ведет к уменьшению скорости осаждения. Шероховатость покрытий закономерно увеличивается при снижении общего давления из-за более интенсивной кристаллизации и удаления подложки от мишени из-за формирования островковой структуры.
Description: Влияния условий осаждения высококачественных АLN и SIС на характеристики покрытий / В. М. Нарцев [и др.] // Вестник БГТУ им. В. Г. Шухова. - 2013. - № 6. - С. 168-172.
URI: http://dspace.bstu.ru/jspui/handle/123456789/1108
Appears in Collections:2013 год

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
39. Нарцев.pdf576,46 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.