Please use this identifier to cite or link to this item:
http://dspace.bstu.ru/jspui/handle/123456789/2948| Title: | Структура тонких пленок диоксида олова, формируемых методом дуального магнетронного распыления |
| Authors: | Зайцев, С. В. Ващилин, В. С. Прохоренков, Д. С. Нарцев, В. М. Евтушенко, Е. И. |
| Keywords: | Авторы БГТУ диоксид олова магнетронное распыление рентгеновская дифрактометрия морфология поверхности |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | Издательство БГТУ им. В. Г. Шухова |
| Abstract: | Приведены экспериментальные результаты синтеза тонких пленок (толщиной до 1 мкм) диоксида олова (SnO2), формируемые методом дуального магнетронного распыления металлических ми- шеней в контролируемой атмосфере Ar+O2. Пленки, нанесенные на подложки из стекла и сапфира, исследовались методами рентгенофазового анализа и сканирующей электронной микроскопии. Установлено, что покрытия имеют столбчатую кристаллическую структуру с решеткой типа рутила. Проведен анализ изменения давления в вакуумной камере на скорости осаждения и структуру тонких пленок диоксида олова. |
| Description: | Структура тонких пленок диоксида олова, формируемых методом дуального магнетронного распыления / С. В. Зайцев [и др.] // Вестник БГТУ им. В. Г. Шухова. - 2015. - № 5. - С. 228-231. |
| URI: | http://dspace.bstu.ru/jspui/handle/123456789/2948 |
| Appears in Collections: | 2015 год |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 46. Зайцев.pdf | 863.4 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.