Please use this identifier to cite or link to this item:
http://dspace.bstu.ru/jspui/handle/123456789/2948Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Зайцев, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Ващилин, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Прохоренков, Д. С. | - |
| dc.contributor.author | Нарцев, В. М. | - |
| dc.contributor.author | Евтушенко, Е. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-09-04T07:36:45Z | - |
| dc.date.available | 2019-09-04T07:36:45Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.uri | http://dspace.bstu.ru/jspui/handle/123456789/2948 | - |
| dc.description | Структура тонких пленок диоксида олова, формируемых методом дуального магнетронного распыления / С. В. Зайцев [и др.] // Вестник БГТУ им. В. Г. Шухова. - 2015. - № 5. - С. 228-231. | ru_RU |
| dc.description.abstract | Приведены экспериментальные результаты синтеза тонких пленок (толщиной до 1 мкм) диоксида олова (SnO2), формируемые методом дуального магнетронного распыления металлических ми- шеней в контролируемой атмосфере Ar+O2. Пленки, нанесенные на подложки из стекла и сапфира, исследовались методами рентгенофазового анализа и сканирующей электронной микроскопии. Установлено, что покрытия имеют столбчатую кристаллическую структуру с решеткой типа рутила. Проведен анализ изменения давления в вакуумной камере на скорости осаждения и структуру тонких пленок диоксида олова. | ru_RU |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.publisher | Издательство БГТУ им. В. Г. Шухова | ru_RU |
| dc.subject | Авторы БГТУ | ru_RU |
| dc.subject | диоксид олова | ru_RU |
| dc.subject | магнетронное распыление | ru_RU |
| dc.subject | рентгеновская дифрактометрия | ru_RU |
| dc.subject | морфология поверхности | ru_RU |
| dc.title | Структура тонких пленок диоксида олова, формируемых методом дуального магнетронного распыления | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | 2015 год | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 46. Зайцев.pdf | 863.4 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.