Please use this identifier to cite or link to this item:
http://dspace.bstu.ru/jspui/handle/123456789/1108Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Нарцев, В. М. | - |
| dc.contributor.author | Агеева, М. С. | - |
| dc.contributor.author | Прохоренков, Д. С. | - |
| dc.contributor.author | Зайцев, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Карацупа, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Ващилин, В. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-06-19T13:48:58Z | - |
| dc.date.available | 2018-06-19T13:48:58Z | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.uri | http://dspace.bstu.ru/jspui/handle/123456789/1108 | - |
| dc.description | Влияния условий осаждения высококачественных АLN и SIС на характеристики покрытий / В. М. Нарцев [и др.] // Вестник БГТУ им. В. Г. Шухова. - 2013. - № 6. - С. 168-172. | ru_RU |
| dc.description.abstract | В работе на базе оборудования Центра высоких технологий (ЦВТ) БГТУ им. В.Г. Шухова были проведены первичные исследования влияния условий осаждения из магнетронной плазмы покрытий на их основные характеристики. Установлено, что увеличение доли О2 ведет к уменьшению скорости осаждения. Шероховатость покрытий закономерно увеличивается при снижении общего давления из-за более интенсивной кристаллизации и удаления подложки от мишени из-за формирования островковой структуры. | ru_RU |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.publisher | Издательство БГТУ им. В. Г. Шухова | ru_RU |
| dc.subject | Авторы БГТУ | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | ЦВТ БГТУ им. В.Г. Шухова | ru_RU |
| dc.subject | тонкие пленки АlN и SiС | ru_RU |
| dc.subject | сканирующий электронный микроскоп | ru_RU |
| dc.subject | рентгеновский дифрактометр | ru_RU |
| dc.subject | магнетронные распылительные установки | ru_RU |
| dc.title | Влияния условий осаждения высококачественных АLN и SIС на характеристики покрытий | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | 2013 год | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 39. Нарцев.pdf | 576.46 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.