Please use this identifier to cite or link to this item:
http://dspace.bstu.ru/jspui/handle/123456789/1788| Title: | Влияния условий осаждения высококачественных ALN и SIC на характеристики покрытий |
| Authors: | Нарцев, В. М. Агеева, М. С. Прохоренков, Д. С. Зайцев, С. В. Карацупа, С. В. Ващилин, В. С. |
| Keywords: | микроэлектронника ЦВТ БГТУ им. В.Г. Шухова тонкие пленки АlN и SiС сканирующий электронный микроскоп |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | Издательство БГТУ им. В.Г. Шухова |
| Abstract: | В работе на базе оборудования Центра высоких технологий (ЦВТ) БГТУ им. В.Г. Шухова были проведены первичные исследования влияния условий осаждения из магнетронной плазмы покрытий на их основные характеристики. Установлено, что увеличение доли О2 ведет к уменьшению скорости осаждения. Шероховатость покрытий закономерно увеличивается при снижении общего давления из-за более интенсивной кристаллизации и удаления подложки от мишени из-за формирования островковой структуры. |
| Description: | Влияния условий осаждения высококачественны-х ALN и SIC на характеристики покрытий / Нарцев В. М. и [др.] // Вестник БГТУ им. В. Г. Шухова. - №6. - С. 168-172. |
| URI: | http://dspace.bstu.ru/jspui/handle/123456789/1788 |
| Appears in Collections: | 2013 год |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 38. Ястребинский.pdf | 374.78 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.