Влияния условий осаждения высококачественных ALN и SIC на характеристики покрытий

Нарцев, В. М.; Агеева, М. С.; Прохоренков, Д. С.; Зайцев, С. В.; Карацупа, С. В.; Ващилин, В. С.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.bstu.ru/jspui/handle/123456789/1788

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Нарцев, В. М.	-
dc.contributor.author	Агеева, М. С.	-
dc.contributor.author	Прохоренков, Д. С.	-
dc.contributor.author	Зайцев, С. В.	-
dc.contributor.author	Карацупа, С. В.	-
dc.contributor.author	Ващилин, В. С.	-
dc.date.accessioned	2018-10-02T11:46:44Z	-
dc.date.available	2018-10-02T11:46:44Z	-
dc.date.issued	2013	-
dc.identifier.uri	http://dspace.bstu.ru/jspui/handle/123456789/1788	-
dc.description	Влияния условий осаждения высококачественны-х ALN и SIC на характеристики покрытий / Нарцев В. М. и [др.] // Вестник БГТУ им. В. Г. Шухова. - №6. - С. 168-172.	ru_RU
dc.description.abstract	В работе на базе оборудования Центра высоких технологий (ЦВТ) БГТУ им. В.Г. Шухова были проведены первичные исследования влияния условий осаждения из магнетронной плазмы покрытий на их основные характеристики. Установлено, что увеличение доли О2 ведет к уменьшению скорости осаждения. Шероховатость покрытий закономерно увеличивается при снижении общего давления из-за более интенсивной кристаллизации и удаления подложки от мишени из-за формирования островковой структуры.	ru_RU
dc.language.iso	other	ru_RU
dc.publisher	Издательство БГТУ им. В.Г. Шухова	ru_RU
dc.subject	микроэлектронника	ru_RU
dc.subject	ЦВТ БГТУ им. В.Г. Шухова	ru_RU
dc.subject	тонкие пленки АlN и SiС	ru_RU
dc.subject	сканирующий электронный микроскоп	ru_RU
dc.title	Влияния условий осаждения высококачественных ALN и SIC на характеристики покрытий	ru_RU
dc.type	Article	ru_RU
Appears in Collections:	2013 год

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
38. Ястребинский.pdf		374.78 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record