Создание нового оборудования для получения многокомпонентных многослойных покрытий различного функционального назначения

Abstract

Приведены результаты экспериментов получения многокомпонентных покрытий, обладающих более широким спектром свойств по сравнению с однокомпонентными. Изучены процессы формирования покрытий на основе многокомпонентного сплава Co(18…20 %)-Cr(5…7 %)-Al(0,3…0,4 %)-Y(0,2…0,5). Исследован химический состав покрытия, его толщина, состояние переходной зоны. Приведены результаты рентгенофлюоресцентного и рентгеноспектрального микроанализа получаемых покрытий. Показано, что характер микрорельефа поверхности определяется условиями формирования покрытий, набор химических элементов в покрытии на каждом из образцов аналогичный, концентрация их зависит от условий процесса осаждения, распределение химических элементов по толщине на образцах постоянно, зона диффузии материалов покрытия и подложки практически отсутствует. Выявлено наличие в сформированном покрытии незначительного процентного содержания материала подложки. По мере роста толщины покрытия процентное содержание материала подложки резко уменьшалось.