Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://dspace.bstu.ru/jspui/handle/123456789/1223
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Мамаев, В. В. | - |
dc.contributor.author | Новикв, С.А. | - |
dc.contributor.author | Петров, С. И. | - |
dc.contributor.author | Зайцев, С. В. | - |
dc.contributor.author | Прохоренков, Д. С. | - |
dc.date.accessioned | 2018-07-27T11:38:21Z | - |
dc.date.available | 2018-07-27T11:38:21Z | - |
dc.date.issued | 2017 | - |
dc.identifier.uri | http://dspace.bstu.ru/jspui/handle/123456789/1223 | - |
dc.description | Использование GA в качестве сурфактанта для улучшения структурного совершенства слоев ALN и ALGAN, выращенных аммиачной МЛЭ / В. В. Мамаев [и др.] // Вестник БГТУ им. В. Г. Шухова. - 2017. - №1. - С. 126-129. | ru_RU |
dc.description.abstract | Представлены результаты выращивания слоев AlN методом высокотемпературной аммиачной МЛЭ с использованием Ga в качестве сурфактанта. Основными параметрами влияющими на кинетику роста и дефектообразование являются эффективные потоки прекурсоров и сурфактанта, а также температура подложки, которая ограничивает поток сурфактанта из-за десорбции Ga с поверхности. В частности, добавление потока Ga, равного потоку Al при температуре подложки 1150 °C не изменяет скорость роста, меняя при этом его кинетику. Такой подход позволяет повысить поверхностную подвижность адатомов и обеспечивает быстрый переход в режим 2D-роста. В гетероструктурах с двумерным электронным газом, выращенных с использованием сурфактанта была достигнута подвижность носителей до 2000 см2/В·с. | ru_RU |
dc.language.iso | other | ru_RU |
dc.publisher | Издательство БГТУ им. В.Г. Шухова | ru_RU |
dc.subject | гетероструктуры | ru_RU |
dc.subject | AlN/AlGaN | ru_RU |
dc.subject | оптоэлектронные приборы | ru_RU |
dc.subject | свч транзисторы | ru_RU |
dc.title | Использование GA в качестве сурфактанта для улучшения структурного совершенства слоев ALN и ALGAN, выращенных аммиачной МЛЭ | ru_RU |
dc.type | Article | ru_RU |
Располагается в коллекциях: | 2017 год |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
24. Мамаев.pdf | 1.05 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.